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      公司新闻

      中科科仪半导体行业专用磁悬浮分子泵

      发布时间:2022-04-11 文章来源: 浏览量:

      磁悬浮分子泵产品是集成电路制造装备的关键核心零部件,为工艺刻蚀、离子注入、薄膜沉积等半导体制造关键工艺过程提供所需的高洁净度超高真空环境。由于半导体产业链价值较高,对其生产工艺中的各项装备可靠性要求极其严苛。磁悬浮分子泵作为关键核心零部件,不仅需满足半导体制造装备的各项工艺技术指标,还需要满足其苛刻的安全性、可靠性要求。今天,小编特向您介绍中科科仪半导体行业专用CV/CS型磁悬浮分子泵。

      CV型磁悬浮分子泵主要应用于半导体刻蚀装备,其中,C代表耐腐蚀性能,V代表防沉积性能;CS型磁悬浮分子泵主要应用于半导体离子注入装备,也适用于回旋加速器等工业过程领域,其中S代表分体型,适用于高压、高电磁辐射的应用场景。CV/CS型磁悬浮分子泵聚焦半导体行业的更高要求,拥有更高的性能和更好的体验,关键核心技术完全自主可控,可满足您的定制化需求。?


      产品突出特点:

      (1)卓越可靠的耐腐蚀能力

      半导体刻蚀、沉积等工艺过程中会使用强腐蚀性工艺气体,因此要求分子泵的核心部件具有针对特定工艺气体的耐腐蚀能力。

      CV/CS型磁悬浮分子泵涡轮及静片表面涂覆有复合耐腐蚀涂层,保护涡轮及静片基材免受腐蚀气体的侵蚀。

      (2)安全稳定的防沉积能力

      半导体制造过程中的某些工艺气体易发生冷凝沉积,为抑制其沉积到分子泵内部抽气通道和附件管道造成堵塞,需要分子泵整体进行加热以具有较高温度,防止工艺气体冷凝沉积。

      CV/CS型磁悬浮分子泵采用航空级高强度铝合金,结合优化设计的散热通道,实现了分子泵在加热及大流量气载时的安全稳定运行。

      3)配置灵活的分体式设计

      半导体离子注入和粒子加速器等领域大多存在强电场和强磁场,部分恶劣工况存在强电离辐射,这样的环境可能影响分子泵控制器正常工作,缩短分子泵使用寿命甚至造成损坏。

      CS型磁悬浮分子泵将分子泵本体与控制器分开,通过长线缆相连,能够使控制器远离强电磁环境,分子泵本体选配电磁防护罩,可进一步提升分子泵的抗电磁干扰能力。

      4)紧凑便利的高集成设计

      半导体制造领域机台设备集成度较高,设备和附件的结构较为紧凑、安装空间较为有限。

      CV/CS型磁悬浮分子泵结构紧凑、体积小、安装便利,便于在机台中布置。

      作为半导体装备核心零部件供应商,中科科仪凭借在真空行业的领军地位和四十多年的技术积淀,承担了国家重大科技专项《极大规模集成电路制造技术及成套工艺》项目中《磁浮分子泵系列产品开发与产业化》项目,成功研制了中国第一台具有自主知识产权的磁悬浮分子泵,主导制定了中国磁悬浮分子泵行业标准,陆续推出系列磁悬浮分子泵产品,完成供应链自主可控,实现科技成果规模产业化,在工业领域取得了广泛应用。同时,中科科仪聚焦半导体行业需求,持续研发推出特殊工艺专用磁悬浮分子泵产品,实现半导体制造领域国产化替代,助力解决集成电路装备核心零部件卡脖子问题,为半导体产业设备核心部件国产化发展做出贡献!

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